エネルギーレーザーアプリケーション(LIDT)用のアクター光吸収コーティング - Acktar black coatings

エネルギーレーザーアプリケーション(LIDT)用のアクター光吸収コーティング

レーザーエネルギーの高い吸収率との高い許容度の組み合わせが必要ケースにAcktar Blackコーティングは優れた性能を発揮します。

コーティングのレーザー誘起損傷閾値(LIDT)は、一般的に述べることはできませんが、波長、パルス幅、パルスレート、レーザー波形など多くの要因に依存します。
Acktarコーティングの場合、光を吸収します –  LIDTは、吸収された熱エネルギーをすばやく分散する基板の能力にも依存します。

Acktarコーティングはさまざまなテスト条件下でテストされています。結果として、Acktarブラックコーティングがさまざまな条件下で非常に印象的なLIDT値を示しています。 したがって、レーザーエネルギーの高吸収率と高許容度の組み合わせが必要な時にAcktar コーティングの採用は優れた選択肢であることを示しています。

現在の試験データのまとめ

Wavelength Coating Substrate J/sqcm
1-on-1 10-on-1
EUV (~13nm) Magic Black > 3.5 below 3.5

 

Wavelength Coating Substrate kW/sqcm (peak power) J/sqcm
193 nm
pulsed (10ns)
Magic Black SS – 0.65 mm 9,600 0.096
Fractal Black SS – 0.65 mm 8,100 0.081
Al – 3 mm 8,600 0.086

 

Wavelength Coating Substrate W/sqcm J/sqcm
30 sec 60 sec
532 nm
quasi CW
(1μs; 20kHz)
Magic Black SS – 0.65 mm 1,500 780
Fractal Black SS – 0.65 mm 900 560
Al – 3 mm exceeds 8000 (test limit)
532 nm
(7.2ns; 100 Hz)
Metal Velvet Aluminum foil 0.144 (1-on-1)
0.132 (1000-on-1)

 

Wavelength Coating Substrate W/sqcm J/sqcm
30 sec 60 sec
1064 nm
quasi CW(1μs; 20kHz)
Magic Black SS – 0.65 mm 600 500
Fractal Black SS – 0.65 mm 400 400
Al – 3 mm exceeds 800 (test limit)
1064 nm
(10.2ns; 100 Hz)
Metal Velvet Aluminum foil 0.277 (1-on-1)
0.221 (1000-on-1)

 

Wavelength Coating Substrate W/sqcm
10,600 nm CW Fractal Black exceeds 3,000 (test limit)