Litho Black coating - Very low reflectivity & Extremely low outgassing - Acktar black coatings

Litho Black

Litho Black coated glass components
long metal sheet coated with litho black coating
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tiny litho black coating labels
Accurate Litho Black coating on glass slides
Accurate Litho Black coating

Litho-Black TM コーティングは、ウェハー上にパターン描くことができます。迷光と光学的クロストークを抑制のために、検出器エレメントの形状などを正確にウェハー上に描写することができます。

  • 非常に低い反射率
  • 調整可能な電気抵抗率 – 導体または絶縁体
  • エッチングまたはリフトオフ対応
  • フィーチャーサイズ 3ミクロン
  • 実質的にあらゆる基板–シリコン、ガラスなどに蒸着可能
  • アウトガスが極めて少ない
  • 粒子化しない
  • リソグラフ用ケミカルとの互換性 - 詳細はお問い合わせください
  • プロセス温度<180℃
High Adhesion
Space Qualified
Low Reflection
Low Thickness
Temperature stability
REACH ROHS Compliant
Low Outgassing
Completely Inorganic

Specifications

Adhesion
metals, glass, ceramics, polymers
Adhesion test (ref ECSS-Q-ST-13C)
Coated pieces withstand scotch tape test (3M853 Crystal Clear tape, strength of 13N per 25mm), without any evidence of coating removal.
Outgassing CVCM (%)
0.001
Outgassing RML (%)
0.2
Coating chemical content
completely inorganic
Surface resistivity
≤2X10^6Ω/□
Material
metal
Cleanability
Coated pieces withstand cleaning with ethanol, IPA or acetone with no change in optical and technical characteristics. Magic Black™, Metal Velvet™ and Litho Black™ should be cleaned very gently." Magic Black™, Metal Velvet™ and Litho Black™ should be cleaned very gently.
Parts shape
3D
LIDT
NA
Humidity Resistance
MIL-C- 48497A
Certificates
ROHS, REACH, ISO 9001:2015, AS9100

Typical Properties

Litho black coating reflectance chart

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Operational wavelengths
EUV-NIR
Coating thickness
0.8-2
NA Emissivity
(3-10µm)
Working temperature (°C)
-269 to 380 (°C)
Working temperature (°K)
4 to 653 (°K)
Weight of coating (mg/cm²)
0.3 - 1.1 (mg/cm²)
moderate Abrasion resistance
(ref MIL-C-48497A)

追加情報

Litho-Black TM コーティングは、UV、VIS、およびIR波長帯域における非常に高い光吸収率と、フォトリソグラフ処理との互換性を兼ね備えています。

非鉄金属と非鉄金属酸化物のみで構成されたLitho-Black TMは完全に無機質であり、有機材料やその他の化学物質を一切含みません。また、コーティングの生成中にもそのような材料は使用されません。

アプリケーション:

1 – IR焦電検出器アレイウェーハ:

  • より多くのIR吸収
  • パイロ層へのより多くの熱吸収
  • より高い検出器感度

2 – 1024エレメント非冷却リニアアレイウェーハ:

  • 全面に電気絶縁性をもちかつ低反射コーティング有しながら、正確なサイズのウィンドウを形成することが可能
  • エレメントより均一応答を得るために均一な幅を生成
  • 非センサー部分には迷光を抑制する低反射率コーティング実施
ご質問・ご相談については、下記のフォームに内容を記載しメイル送信をお願いします。 弊社担当者よりできるだけ早くご連絡させていただき、コーティングの種類、数量、サイズ、特性などに関してお客様のニーズを正確に判断させていただきます。

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