Litho Black

Litho-Black TM コーティングは、UV、VIS、およびIR波長帯域における非常に高い光吸収率と、フォトリソグラフ処理との互換性を兼ね備えています。

非鉄金属と非鉄金属酸化物のみで構成されたLitho-Black TMは完全に無機質であり、有機材料やその他の化学物質を一切含みません。また、コーティングの生成中にもそのような材料は使用されません。

アプリケーション：

1 – IR焦電検出器アレイウェーハ：

• より多くのIR吸収
• パイロ層へのより多くの熱吸収
• より高い検出器感度

2 – 1024エレメント非冷却リニアアレイウェーハ：

• 全面に電気絶縁性をもちかつ低反射コーティング有しながら、正確なサイズのウィンドウを形成することが可能
• エレメントより均一応答を得るために均一な幅を生成
• 非センサー部分には迷光を抑制する低反射率コーティング実施